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JULIGHT VSM-1000-MICRO可用于微型物体(如 MEMS、MOEMS 等) 的振动分析,它将一个自混合激光测振仪头 (OH-1000-MICRO) 集成在定制设计的高性能数字显微镜上, 由高性能光学和机械组件构成,专用于振动测量优化及微型物体的可见性和聚焦性能,特别适用于对微型测试对象进行振动测量,尤其是当它们具有非平面形状时。显微镜在可见光 (VIS) 和红外线 (IR) 中具有高透射率,即激光测振仪的不可见测量激光、红色可见激光指示器和照明光具有高透射率。
显微镜特性:
灵活、模块化、轻便和高性能的显微镜机身,带有带双旋钮(粗/精)的精确手动聚焦滑块。聚焦旋钮可将被测物体的相机图像和激光束精确聚焦到目标表面上。
长立式支架允许将显微镜定位在任何所需的高度,最大测试件尺寸为200mm (W)×200mm (D) ×300mm (H) 的物品(例如,支架、振动器、其他固定装置)。
OH-1000-MICRO光学头配有专用读出电子板,电源集成到VSM-1000主机中。
选项 用于光纤照明器的集成专用端口
-照明光插入显微镜路径,可以对物体的聚焦光斑进行均匀、高亮度的照明。
-带柔性光纤束电缆的大功率 LED 照明器,连接到显微镜的照明输入端口。
-可以使用照明器外壳上的旋转旋钮调暗光强度。
X-Y 平移阶段。立式显微镜支架安装在精密的大尺寸 X-Y 平移台上,可沿显微镜主体的水平方向精确移动,从而使激光测振仪的测量光束精确对准目标表面的所需点.驱动类型:手动(标准)。行程:13 毫米。
[选项] 物镜旋转头。它允许轻松更换多达三个M26 螺纹物镜,只需旋转即可完成更换。
物镜:
5X(标准):工作距离:45 mm,数值孔径:0.14。该物镜结合了长工作距离和宽视场,适用于较大物体(尺寸从50µm 到3mm)的振动测量,或激光在较小物体上的粗对准。摄像头视野为3.3mm×2.6mm,摄像头分辨率为2.6um。
20X(可选)工作距离:30.8 mm,数值孔径:0.29。该物镜结合了长工作距离和高倍率,适用于小物体(尺寸从10µm到500µm)的振动测量。被测物体焦平面上的相机视野为0.82mm x0.65mm,相机分辨率为0.8um。
50X(选项):工作距离:20.5 mm,数值孔径:0.42。该物镜结合了长工作距离和高倍率,适用于极小物体(尺寸从2µm到300µm)的振动测量。被测物体焦平面上的相机视场为0.33mm x0.26mm,相机分辨率为0.4um。
单色 (VIS-NIR) 相机,具有 1 百万像素分辨率、1/2" CCD 传感器、USB 2.0 接口和适用于 PC 的可视化/处理软件。
测量区域的大小(手动 X-Y 平移台) | 13 mm x 13 mm |
显微镜相机上的可视区域 | 2mm×2mm |
相机分辨率 | 1.4 µm |
激光波长 | Pout < 1 mW @ 650 nm(指示激光,可见) Pout < 10 mW @ 1550 nm(测量光,不可见) |
激光安全等级 | CLASS 1 |
输出信号 | BNC接口直接输出位移/速度信号,模拟电压输出,适配主流数采 |
频率范围 | DC-100kHz(最大可扩展至25MHz) |
噪声等效位移 | 10 pm/ √Hz |
速度分辨率 | 10(µm/s)/ √Hz@2MHz 8(nm/s)/ √Hz@1kHz |
测量精度 | 1% |
工作距离 | 45.0mm(5X物镜) 30.8 mm(20X物镜) 20.5 mm(50X物镜) |
光斑尺寸 | 20µm(5X物镜) 8 µm(20X物镜) 4 µm(50X物镜) |
最大振幅 | 2mm(5X物镜) 0.75m(20X物镜) 0.5mm(50X物镜) |
最大目标速度 | 1m/s@50kHz 10m/s@1MHz 30m/s@3MHz |

JULIGHT VSM-1000-MICRO 系统草图,包括:(从左起)OH-1000-MICRO 激光测振仪光学头、数码显微镜(带照明器选项、80 毫米镜筒和数码相机)、带变焦块的垂直平台和 X-Y 手册翻译阶段。
仪集科技作为Julight 授权代理商,提供激光测振仪选型、销售和技术支持等一站式服务,如需了解Julight激光测振仪详细产品信息和报价,欢迎咨询仪集科技:17782732260(同V)。
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